Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos - Shirdavand Monterrosa, Nazanin (Cartago, Costa Rica : N. Shirkavand M., 2011)
Anexos
Proyecto de Graduación (Licenciatura en Ingeniería en Materiales con énfasis en microeléctronica) Instituto Tecnológico de Costa Rica, Escuela de Ciencia e Ingeniería de los Materiales, 2011
Bibliografía
ITCR
COTA
CSUCA2
META
Keywords: CICIMA -- Centro de Investigación de Ciencia e Ingeniería de los Materiales UCR; Procesos industriales; Propiedades físicas; Propiedades químicas; Manipulación de materiales; Semiconductores; Tesis