Advances in CMP polishing technologies - Doi, Toshiro; Marinescu, Ioan D.; Syuhei Kurokawa (Reino Unido : William Andrew Publishing, 2011)
Referencias
ELEC
Keywords: Componentes mecánicos; Componentes electrónicos; Semiconductores; Dispositivos electrónicos; Innovaciones tecnológicas; Desarrollo de la industria electrónica; Libros electrónicos