Handbook of thin film deposition : techniques, processes, and technologies - Seshan, Krishna (Ámsterdam : William Andrew Publishing, 2012)
Incluye índice
Referencias al final de cada capítulo.
INGE
TECN
Keywords: Tecnología de deposición; Industria de semiconductores; Aplicaciones de película; Fabricación en procesos de CVD; Aplicaciones fotovoltaicas; Interconexiones; Desarrollo tecnológico; Libros electrónicos; Manuales