Advanced interconnects for ULSI technology - Baklanov, Mikhail R.; Ho, Paul S.; Zschech, Ehrenfried (Reino Unido : John Wiley & Sons, Inc., 2012)
Referencias
QUIM
TECN
FISI
Keywords: Procesamiento de plasma; Propiedades mecánicas; Estructura química; Técnicas; Porosidad; Fotones; Libros electrónicos