Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications - Kääriäinen, Tommi; Cameron, David; Kääriäinen, Marja Leena; Sherman, Arthur (2013)
Resumen en cada capítulo.
Incluye índice.
Referencias al final de cada capítulo.
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TECN
META
Keywords: Aplicaciones de la nanotecnología; Tecnología de deposición; Materiales orgánicos; Películas -- Semiconductores; Metales; Materiales híbridos; Libros electrónicos