Atomic layer deposition of nanostructured materials /
| Other Authors: | , |
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| Format: | Book |
| Language: | English |
| Published: |
Weinheim, Alemania :
Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA,
2012.
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| Subjects: |
| Item Description: | Incluye índice. |
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| Physical Description: | 1 recurso en línea : ilustraciones, gráficas, tablas. |
| Bibliography: | Referencias al final de cada capítulo. |
| ISBN: | 9783527639915 |