Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication - Rai-Choudhury, Prosenjit (Bellingham, Wash. : Spie Optical Engineering, 1997)
Keywords: INGENIERÍA DE LA PRODUCCIÓN; MICROLITOGRAFIA; MICROMECANIZADO; MICROFABRICACION; MANUALES; NANOTECNOLOGIA; ELECTRONICA INDUSTRIAL