PVD for microelectronics : sputter deposition applied to semiconductor manufacturing /
Autores principales: | Powell, Ronald A. (Autor, Autor/a), Rossnagel, Stephen M (Autor/a) |
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
San Diego :
Academic Press,
c1999.
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Colección: | Thin films ;
v. 26) |
Materias: |
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