Advanced materials and technologies for micro/nano-devices, sensors and actuators - Gusev, Evgeni P.; Garfunkel, Eric L.; Dideikin, Arthur (Dordrecht, The Netherlands : Springer, 2010)
También disponible en formato EPUB
Keywords: SISTEMAS MICROELECTROMECÁNICOS; SISTEMAS MICROELECTROMECÁNICOS -- DISEÑO Y CONSTRUCCION -- CONGRESOS; NANOTECNOLOGIA -- CONGRESOS; SISTEMAS NANOELECTROMECÁNICOS; SEMICONDUCTORES; CIRCUITOS INTEGRADOS