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MEMS Vibratory Gyroscopes Structural Approaches to Improve Robustness /
por Acar, Cenk., Shkel, Andrei.
Publicado 2009
“...MEMS Reference Shelf,...”
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2
Photonic Microsystems Micro and Nanotechnology Applied to Optical Devices and Systems /
por Solgaard, Olav.
Publicado 2009
“...MEMS Reference Shelf,...”
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3
RF MEMS Switches and Integrated Switching Circuits /
por Liu, Ai-Qun.
Publicado 2010
“...MEMS Reference Shelf,...”
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4
Multi-Wafer Rotating MEMS Machines : Turbines, Generators, and Engines /
Publicado 2010
“...MEMS Reference Shelf,...”
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5
BioNanoFluidic MEMS /
Publicado 2008
“...MEMS Reference Shelf,...”
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