Formacion de imagen en microlitografia: fotogeneracion de acido en matrices polimericas. I
| Autor principal: | |
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| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | Spanish |
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| 700 | 1 | |a Mateo, J. L. | |
| 773 | 0 | |t Revista de plasticos modernos |g Vol.67, no.454 (Abril - 1994), p.367-374 | |
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