Formacion de imagen en microlitografia: fotogeneracion de acido en matrices polimericas. I

Bibliographic Details
Main Author: Bosch, P.
Other Authors: Mateo, J. L.
Format: Article
Language:Spanish
Subjects:
LEADER 00626nab a2200181 a 4500
001 UNA01000125577
005 20120328195059.0
008 080728s 00010 spa d
040 |a Sistema de Bibliotecas de la Universidad Nacional de Costa Rica  
082 |a H547.84  |b R454r 
100 1 |a Bosch, P. 
245 1 0 |a Formacion de imagen en microlitografia:  |b fotogeneracion de acido en matrices polimericas. I  |h [artículo de revista] 
650 0 4 |a ACIDOS 
650 0 4 |a LITOGRAFIA 
650 0 4 |a POLÍMEROS 
700 1 |a Mateo, J. L. 
773 0 |t Revista de plasticos modernos  |g Vol.67, no.454 (Abril - 1994), p.367-374 
852 |a BMARCAM