Semiconductor manufacturing technology /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Hackensack, New Jersey ; London :
World Scientific,
2008.
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| Colección: | Advanced series in electrical and computer engineering
Vol. 13 |
| Materias: |
| Descripción Física: | 470 páginas : ilustraciones, diagramas. |
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| Bibliografía: | Referencias bibliográficas |
| ISBN: | 9789812568236 9812568239 |