Handbook of contamination control in microelectronics : principles, applications, and technology /
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New Jersey :
Noyes,
c1988.
|
| Colección: | Materials Science and Process Technology Series
|
| Materias: |
| Descripción Física: | xxi, 488 páginas : ilustraciones , retratos |
|---|---|
| ISBN: | 0815511515 |