Handbook of contamination control in microelectronics : principles, applications, and technology /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Tolliver, Donald L. (Editor )
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: New Jersey : Noyes, c1988.
Colección:Materials Science and Process Technology Series
Materias:
Descripción
Descripción Física:xxi, 488 páginas : ilustraciones , retratos
ISBN:0815511515