Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos /
| Main Author: | |
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| Format: | Thesis Book |
| Language: | Spanish |
| Published: |
Cartago, Costa Rica :
N. Shirkavand M.,
2011.
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| Subjects: |
| Physical Description: | 1 disco de computadora : ilustraciones, diagramas, fotografías. |
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| Bibliography: | Bibliografía |