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| LEADER |
01284nmm a2200313 a 4500 |
| 001 |
000189717 |
| 005 |
20121121111827.0 |
| 008 |
121112s2011 cr d spa d |
| 040 |
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|a Sistema de Bibliotecas del Tecnológico de Costa Rica
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| 090 |
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|a TF 6631
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| 100 |
1 |
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|a Shirdavand Monterrosa, Nazanin
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| 245 |
1 |
0 |
|a Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos /
|c Nazanin Shirkavand Monterrosa.
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| 260 |
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|a Cartago, Costa Rica :
|b N. Shirkavand M.,
|c 2011.
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| 300 |
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|a 1 disco de computadora :
|b ilustraciones, diagramas, fotografías.
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| 502 |
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|a Proyecto de Graduación (Licenciatura en Ingeniería en Materiales con énfasis en microeléctronica) Instituto Tecnológico de Costa Rica, Escuela de Ciencia e Ingeniería de los Materiales, 2011
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| 504 |
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|a Bibliografía
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| 505 |
0 |
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|a Anexos
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| 590 |
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|a ITCR
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| 590 |
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|a COTA
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| 590 |
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|a CSUCA2
|
| 590 |
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|
|a META
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| 610 |
2 |
4 |
|a CICIMA
|x Centro de Investigación de Ciencia e Ingeniería de los Materiales UCR
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| 650 |
1 |
4 |
|a Procesos industriales
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| 650 |
1 |
4 |
|a Propiedades físicas
|
| 650 |
1 |
4 |
|a Propiedades químicas
|
| 650 |
1 |
4 |
|a Manipulación de materiales
|
| 650 |
1 |
4 |
|a Semiconductores
|
| 655 |
|
4 |
|a Tesis
|
| 902 |
|
|
|a Jessi
|b 2012/11/21
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