Introduction to microlithography /

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Thompson, Larry F. (Editor )
Otros Autores:	Willson, C. Grant (Editor , Editor/a), Bowden, Murrae J. (Editor , Editor/a)
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	Washington, D.C. : American Chemical Society, 1994.
Edición:	2. edition
Colección:	ACS Professional reference book
Materias:	LITOGRAFIA INGENIERIA MICROELECTRONICA CONGRESOS SEMICONDUCTORES DISEÑO Y CONSTRUCCION CIRCUITOS IMPRESOS

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Número de Clasificación:	621.381.531
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