Introduction to microlithography /
Autor principal: | |
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Otros Autores: | , |
Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Washington, D.C. :
American Chemical Society,
1994.
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Edición: | 2. edition |
Colección: | ACS Professional reference book
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Materias: |
Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica
Número de Clasificación: |
621.381.531 |
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Copia | Disponible |