Introduction to microlithography /

Bibliographic Details
Main Author: Thompson, Larry F. (Editor)
Other Authors: Willson, C. Grant (Editor, Editor/a), Bowden, Murrae J. (Editor, Editor/a)
Format: Book
Language:English
Published: Washington, D.C. : American Chemical Society, 1994.
Edition:2. edition
Series:ACS Professional reference book
Subjects:
LEADER 01188nam a2200361 u 4500
001 000124928
005 20080825163752.0
008 080812s1994 xxu ||||| eng
020 |a 0841228485 
035 |a 9114633 
040 |a Sistema de Bibliotecas del Universidad de Costa Rica 
041 0 |a eng 
082 0 |a 621.381.531  |b I61i2  |2 22 
100 1 |a Thompson, Larry F.  |e Editor/a  |4 edt 
245 1 0 |a Introduction to microlithography /  |c edited by Larry F. Thompson, C Grant Willson, Murrae J. Bowden 
250 |a 2. edition 
260 |a Washington, D.C. :  |b American Chemical Society,  |c 1994. 
300 |a xiv, 527 páginas :  |b ilustraciones 
490 0 |a ACS Professional reference book 
650 |a LITOGRAFIA 
650 |a INGENIERIA 
650 |a MICROELECTRONICA 
650 |v CONGRESOS 
650 |a SEMICONDUCTORES 
650 |x DISEÑO Y CONSTRUCCION 
650 |a CIRCUITOS IMPRESOS 
700 1 |a Willson, C. Grant  |e Editor/a  |4 edt 
700 1 |a Bowden, Murrae J.  |e Editor/a  |4 edt 
900 |a 2008 
912 |a 25-AUG-2008 - SANCHEZ VELASQUEZ, AURA 
917 |a 12-AUG-2008 - ALVARADO MONGE, KATTIA YENORY 
949 |a ASV -ASV 
916 |a Centro Catalográfico