Optical diagnostics for thin film processing /

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Herman, Irving P. (Autor, Autor/a)
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	San Diego, Calif. : Academic Press, 1996.
Materias:	PELICULAS DELGADAS PRUEBAS ANALISIS ESPECTRAL APLICACIONES INDUSTRIALES

Descripción
Descripción Física:	xxix, 783 páginas : ilustraciones
ISBN:	0123420709

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