Optical diagnostics for thin film processing /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Herman, Irving P. (Autor, Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: San Diego, Calif. : Academic Press, 1996.
Materias:
LEADER 00845nam a2200253 u 4500
001 000153751
005 20010503122554.0
008 010427s1996 xxu ||||| eng
020 |a 0123420709 
035 |a 6462273 
040 |a Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica 
041 0 |a eng 
082 0 |a 621.381.520.287  |b H551o  |2 20 
100 1 |a Herman, Irving P.  |e Autor/a  |4 aut 
245 1 0 |a Optical diagnostics for thin film processing /  |c Irving P. Herman 
260 |a San Diego, Calif. :  |b Academic Press,  |c 1996. 
300 |a xxix, 783 páginas :  |b ilustraciones 
650 |a PELICULAS DELGADAS 
650 |x PRUEBAS 
650 |a ANALISIS ESPECTRAL 
650 |x APLICACIONES INDUSTRIALES 
912 |a 03-MAY-2001 - GOMEZ PANIAGUA, LUZ MARIA 
917 |a 27-APR-2001 - JIMENEZ VELASCO, MARTA SYLIA 
916 |a Centro Catalográfico