Vacuum technology thin films and sputtering : an introduction /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Stuart, R.V. (Autor, Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Orlando, Fla. : Academic, 1983.
Materias:
Descripción
Descripción Física:vii, 151 páginas : ilustraciones ; 24 cm.
ISBN:0126747806