Vacuum technology thin films and sputtering : an introduction /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Stuart, R.V. (Autor, Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Orlando, Fla. : Academic, 1983.
Materias:
LEADER 00690nam a2200217 u 4500
001 000339578
005 20170705101159.0
008 160906s1983 xxu ||||| eng
020 |a 0126747806 
035 |a 93876 
040 |a Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica 
041 0 |a eng 
082 0 |a 621.55  |b S932v  |2 00 
100 1 |a Stuart, R.V.  |e Autor/a  |4 aut 
245 1 0 |a Vacuum technology thin films and sputtering :  |b an introduction /  |c R.V. Stuart. 
260 |a Orlando, Fla. :  |b Academic,  |c 1983. 
300 |a vii, 151 páginas :  |b ilustraciones ;  |c 24 cm. 
650 |a TECNOLOGIA DEL VACIO 
650 |a PELICULAS DELGADAS 
949 |a LQ-LQ b IF 
916 |a Registros del LS-2000