Microelectronics processing : inorganic materials characterization /
Formato: | Libro |
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Publicado: |
Washington, DC :
American Chemical Society,
1986.
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Colección: | ACS symposium series,
295 |
Materias: |
Descripción Física: | x, 443 p. : ill. ; 24 cm. |
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Bibliografía: | Includes bibliographies and indexes. |
ISBN: | 0841209340 |
ISSN: | 0097-6156 ; |