Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos /

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Shirdavand Monterrosa, Nazanin
Formato:	Tesis Libro
Lenguaje:	Spanish
Publicado:	Cartago, Costa Rica : N. Shirkavand M., 2011.
Materias:	CICIMA > Centro de Investigación de Ciencia e Ingeniería de los Materiales UCR Procesos industriales Propiedades físicas Propiedades químicas Manipulación de materiales Semiconductores Tesis

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