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1
PVD for microelectronics : sputter deposition applied to semiconductor manufacturing /
por
Powell, Ronald A.
,
Powell, Ronald A.
,
Rossnagel, Stephen M
Publicado 1999
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2
Characterization of epitarial semiconductor films /
por
Kressel, Henry
Publicado 1976
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3
Thin films and interfaces : proceedings of the Materials Research Society Annual Meeting, November 1981, Boston Park Plaza Hotel, Boston, Massachusetts, U.S.A. /
por
Ho, P. S.
,
Ho, P. S.
,
Tu, King ning
Publicado 1982
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4
Thin-film deposition : principles and practice /
por
Smith, Donald L. 1953-
,
Smith, Donald L. 1953-
Publicado 1995
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Autor
Ho, P. S.
1
Kressel, Henry
1
Powell, Ronald A.
1
Rossnagel, Stephen M
1
Smith, Donald L. 1953-
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Tu, King ning
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