PVD for microelectronics : sputter deposition applied to semiconductor manufacturing /
| Autores principales: | , |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
San Diego :
Academic Press,
c1999.
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| Colección: | Thin films ;
v. 26) |
| Materias: |
Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica
| Número de Clasificación: |
621.381.52 |
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| Copia | Disponible |