Film deposition by plasma techniques /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Berlín :
Springer,
c1992.
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| Colección: | Springer series on atoms and plasmas / editors, G. Ecker ... [et al.]
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| Materias: |
Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica
| Número de Clasificación: |
621.381.7 |
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| Copia | Disponible |