Film deposition by plasma techniques /
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Berlín :
Springer,
c1992.
|
Colección: | Springer series on atoms and plasmas / editors, G. Ecker ... [et al.]
|
Materias: |
Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica
Número de Clasificación: |
621.381.7 |
---|---|
Copia | Disponible |