Film deposition by plasma techniques /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Berlín :
Springer,
c1992.
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| Colección: | Springer series on atoms and plasmas / editors, G. Ecker ... [et al.]
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| Materias: |
| Notas: | Incluye indice. |
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| Descripción Física: | ix, 224 páginas : ilustraciones ; 24 cm.-- |
| Bibliografía: | Bibliografia : p. 195-220. |
| ISBN: | 3540540571 |