MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Hoboken, New Jersey :
John Wiley & Sons, Inc.,
2008.
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| Edición: | Second edition |
| Materias: |
Sistema de Bibliotecas del TEC
| Número de Clasificación: |
621.381 |
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| Copia | Disponible |