MEMS and microsystems : design, manufacture, and nanoscale engineering /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Hoboken, New Jersey :
John Wiley & Sons, Inc.,
2008.
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| Edición: | Second edition |
| Materias: |
| Notas: | Incluye índice |
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| Descripción Física: | 550 páginas : ilustraciones, diagramas, gráficas, tablas. |
| Bibliografía: | Referencias |
| ISBN: | 9780470083017 |