Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos /

Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos /

Bibliographic Details
Main Author: Shirdavand Monterrosa, Nazanin
Format: Thesis Book
Language:Spanish
Published: Cartago, Costa Rica : N. Shirkavand M., 2011.
Subjects:
CICIMA > Centro de Investigación de Ciencia e Ingeniería de los Materiales UCR
Procesos industriales
Propiedades físicas
Propiedades químicas
Manipulación de materiales
Semiconductores
Tesis

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