Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS /
Otros Autores: | , , , , , , , |
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Ámsterdam :
William Andrew Publishing,
2012.
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Edición: | Second Edition |
Materias: |
Notas: | Incluye índice |
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Descripción Física: | 1 recurso en línea : ilustraciones, diagramas, tablas. |
Bibliografía: | Referencias al final de cada capítulo. |
ISBN: | 9781437734836 |