Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS /

Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Wasa, Kiyotaka (Editor ), Kanno, Isaku (Editor ), Kotera, Hidetoshi (Editor ), Adachi, Hideaki (creador), Hata, Tomonobu (creador), Matsushima, Tomoaki (creador), Motohiro, Tomoyoshi (creador), Tominaga, Kikuo (creador)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Ámsterdam : William Andrew Publishing, 2012.
Edición:Second Edition
Materias:
Descripción
Notas:Incluye índice
Descripción Física:1 recurso en línea : ilustraciones, diagramas, tablas.
Bibliografía:Referencias al final de cada capítulo.
ISBN:9781437734836