Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS /

Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Wasa, Kiyotaka (Editor ), Kanno, Isaku (Editor ), Kotera, Hidetoshi (Editor ), Adachi, Hideaki (creador), Hata, Tomonobu (creador), Matsushima, Tomoaki (creador), Motohiro, Tomoyoshi (creador), Tominaga, Kikuo (creador)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Ámsterdam : William Andrew Publishing, 2012.
Edición:Second Edition
Materias:
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005 20200529111850.0
008 191120s2012 ne |s 00| 0 eng d
020 |a 9781437734836  |q (e-book) 
040 |a Sistema de Bibliotecas del Tecnológico de Costa Rica 
245 0 0 |a Handbook of sputter deposition technology :  |b fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS /  |c editores Kiyotaka Wasa, Isaku Kanno, Hidetoshi Kotera; creadores Hideaki Adachi, Tomonobu Hata, Tomoaki Matsushima, Tomoyoshi Motohiro, Kikuo Tominaga,. 
250 |a Second Edition  |b (2 edición) 
260 |a Ámsterdam :  |b William Andrew Publishing,  |c 2012. 
300 |a 1 recurso en línea :  |b ilustraciones, diagramas, tablas. 
336 |a texto  |b txt  |2 rdacontenido 
337 |a computadora  |b c  |2 rdamedio 
338 |a recurso en línea  |b cr  |2 rdaportador 
500 |a Incluye índice 
504 |a Referencias al final de cada capítulo. 
505 0 |a Apéndice 1: Constantes físicas fundamentales. 
505 0 |a Apéndice 2: Tabla de factores de conversión. 
505 0 |a Apéndice 3 :Unidades eléctricas, sus símbolos y factores de conversión. 
590 |a INGE 
590 |a TECN 
650 1 7 |a Tecnología de deposición  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Nanomateriales  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Simulación por computadoras  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Factores de conversión  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Símbolos  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Pulverización  |2 Tesauro SIBITEC 
650 1 7 |a Dispositivos innovadores  |2 Tesauro SIBITEC 
655 4 |a Libros electrónicos 
655 4 |a Manuales 
700 1 |a Wasa, Kiyotaka,  |e editor 
700 1 |a Kanno, Isaku,  |e editor 
700 1 |a Kotera, Hidetoshi,  |e editor 
700 1 |a Adachi, Hideaki,  |e creador 
700 1 |a Hata, Tomonobu,  |e creador 
700 1 |a Matsushima, Tomoaki,  |e creador 
700 1 |a Motohiro, Tomoyoshi,  |e creador 
700 1 |a Tominaga, Kikuo,  |e creador 
902 |a Xiomara  |b 2020/04/15