Advanced interconnects for ULSI technology /

Detalles Bibliográficos
Otros Autores:	Baklanov, Mikhail R. (Editor ), Ho, Paul S. (Editor ), Zschech, Ehrenfried (Editor )
Formato:	Libro
Lenguaje:	Spanish
Publicado:	Reino Unido : John Wiley & Sons, Inc., 2012.
Materias:	Procesamiento de plasma Propiedades mecánicas Estructura química Técnicas Porosidad Fotones Libros electrónicos

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