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LEADER |
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020 |
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|a 9781119963677
|q (e-book)
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040 |
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|a Sistema de Bibliotecas del Tecnológico de Costa Rica
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245 |
0 |
0 |
|a Advanced interconnects for ULSI technology /
|c editores Mikhail R. Baklanov, Paul S. Ho, Ehrenfried Zschech.
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260 |
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|a Reino Unido :
|b John Wiley & Sons, Inc.,
|c 2012.
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300 |
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|a 1 recurso en línea :
|b ilustraciones, gráficas.
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336 |
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|a texto
|b txt
|2 rdacontenido
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337 |
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|
|a computadora
|b c
|2 rdamedio
|
338 |
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|a recurso en línea
|b cr
|2 rdaportador
|
504 |
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|a Referencias
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590 |
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|a QUIM
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590 |
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|a TECN
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590 |
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|a FISI
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650 |
1 |
7 |
|a Procesamiento de plasma
|2 Tesauro SIBITEC
|
650 |
1 |
7 |
|a Propiedades mecánicas
|2 Tesauro SIBITEC
|
650 |
1 |
7 |
|a Estructura química
|2 Tesauro SIBITEC
|
650 |
1 |
7 |
|a Técnicas
|2 Tesauro SIBITEC
|
650 |
1 |
7 |
|a Porosidad
|2 Tesauro SIBITEC
|
650 |
1 |
7 |
|a Fotones
|2 Tesauro SIBITEC
|
655 |
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4 |
|a Libros electrónicos
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700 |
1 |
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|a Baklanov, Mikhail R.,
|e editor
|
700 |
1 |
|
|a Ho, Paul S.,
|e editor
|
700 |
1 |
|
|a Zschech, Ehrenfried,
|e editor
|
902 |
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|
|a Annette
|b 2021/03/11
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900 |
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|
|a Base de datos Wiley
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