Handbook of thin-film deposition processes and techniques : principles, methods, equipment, and applications /
| Otros Autores: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
New Jersey :
Noyes,
c1988.
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| Colección: | Materials Science and Process Technology Series
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| Materias: |
| Descripción Física: | xvii, 413 páginas : ilustraciones. |
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| ISBN: | 0815511531 |