Thin film materials technology : sputtering of compound materials /

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Wasa, Kiyotaka (Autor, Autor/a), Kitabatake, Makoto (Autor/a), Adachi, Hideaki (Autor/a)
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	Norwich NY : W. Andrew, c2004.
Materias:	PULVERIZACION CATODICA (METALIZACION) PELICULAS DELGADAS

Descripción
Descripción Física:	xiv, 518 páginas : ilustraciones
ISBN:	0815514832

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