Thin film materials technology : sputtering of compound materials /

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Wasa, Kiyotaka (Autor, Autor/a), Kitabatake, Makoto (Autor/a), Adachi, Hideaki (Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: Norwich NY : W. Andrew, c2004.
Materias:
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100 1 |a Wasa, Kiyotaka  |e Autor/a  |4 aut 
245 1 0 |a Thin film materials technology :  |b sputtering of compound materials /  |c by Kiyotaka Wasa, Makoto Kitabatake, Hideaki Adachi 
260 |a Norwich NY :  |b W. Andrew,  |c c2004. 
300 |a xiv, 518 páginas :  |b ilustraciones 
650 |a PULVERIZACION CATODICA (METALIZACION) 
650 |a PELICULAS DELGADAS 
700 1 |a Kitabatake, Makoto  |e Autor/a  |4 aut 
700 1 |a Adachi, Hideaki  |e Autor/a  |4 aut 
900 |a 2007 
912 |a 04-OCT-2007 - BENAVIDES TRIGUEROS, MARIA CLOTILDE 
917 |a 01-OCT-2007 - MATAMOROS GRANADOS, EILLING 
949 |a CB -CSA 
916 |a Centro Catalográfico