Thin-film deposition : principles and practice /

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Smith, Donald L. 1953- (Autor, Autor/a)
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	Boston : McGraw-Hill, c1995.
Materias:	ELECTROMETALURGIA PELICULAS DELGADAS SEMICONDUCTORES

Descripción
Descripción Física:	xxiii, 616 páginas : ilustraciones
ISBN:	9780070585027

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