Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis /
Autor principal: | |
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Otros Autores: | , |
Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Park Ridge, N.J. :
Noyes,
C1989.
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Materias: |
Descripción Física: | xviii, 438 páginas : ilustraciones |
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ISBN: | 081551199X |