Introduction to focused ion beam nanometrology /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
San Rafael, CA :
Morgan & Claypool Publishers,
c2015.
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| Colección: | IOP Concise Physics
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | Ver documento en línea |
| Descripción Física: | 1 recurso en línea (1 volumen en varias paginaciones) : ilustraciones (algunas a color), fotografías (algunas a color), gráficos (algunos a color), archivo de texto, PDF. |
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| ISBN: | 9781681740843 9781681740201 (print) |
| Acceso: | Acceso al texto completo para la comunidad de la UCR por medio de la cuenta institucional |