Handbook of sputter deposition technology : fundamentals and applications for functional thin films, nanomaterials and MEMS /

Detalles Bibliográficos
Otros Autores:	Wasa, Kiyotaka (Editor ), Kanno, Isaku (Editor ), Kotera, Hidetoshi (Editor ), Adachi, Hideaki (creador), Hata, Tomonobu (creador), Matsushima, Tomoaki (creador), Motohiro, Tomoyoshi (creador), Tominaga, Kikuo (creador)
Formato:	Libro
Lenguaje:	English
Publicado:	Ámsterdam : William Andrew Publishing, 2012.
Edición:	Second Edition
Materias:	Tecnología de deposición Nanomateriales Simulación por computadoras Factores de conversión Símbolos Pulverización Dispositivos innovadores Libros electrónicos Manuales

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