Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
2013.
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Edición: | Second Edition |
Materias: |
Notas: | Incluye índice. |
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Descripción Física: | 1 recurso en línea : ilustraciones, gráficas. |
Bibliografía: | Referencias al final de cada capítulo. |
ISBN: | 9781118747407 |