Atomic layer deposition : principles, characteristics, and nanotechnology applications /

Detalles Bibliográficos
Otros Autores: Kääriäinen, Tommi (creador), Cameron, David (creador), Kääriäinen, Marja Leena (creadora), Sherman, Arthur (creador)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: 2013.
Edición:Second Edition
Materias:
Descripción
Notas:Incluye índice.
Descripción Física:1 recurso en línea : ilustraciones, gráficas.
Bibliografía:Referencias al final de cada capítulo.
ISBN:9781118747407