Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Spanish |
| Publicado: |
Park Ridge, N.J. :
Noyes,
c1987.
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| Colección: | Materials Science and Process Technology Series
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| Materias: |
| Descripción Física: | xi, 215 páginas : ilustraciones |
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| ISBN: | 0815511361 |