Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications /

Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications /

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Sherman, Arthur (Autor, Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:Spanish
Publicado: Park Ridge, N.J. : Noyes, c1987.
Colección:Materials Science and Process Technology Series
Materias:
SEMICONDUCTORES
CIRCUITOS INTEGRADOS
PLACAS (INGENIERIA)

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