Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications /
Autor principal: | Sherman, Arthur (Autor, Autor/a) |
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Formato: | Libro |
Lenguaje: | Spanish |
Publicado: |
Park Ridge, N.J. :
Noyes,
c1987.
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Colección: | Materials Science and Process Technology Series
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Materias: |
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