Chemical mechanical planarization of microelectronic materials /

Chemical mechanical planarization of microelectronic materials /

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Steigerwald, Joseph M. (Autor, Autor/a), Murarka, Shyam P. (Autor/a), Gutmann, Ronald J. (Autor/a)
Formato: Libro
Lenguaje:English
Publicado: New York : John Wiley, c1997.
Materias:
MICROELECTRONICA
CERAMICA > MATERIALES
SEMICONDUCTORES
DISPOSITIVOS ELECTROMECANICOS
ESMERILADO

Sistema de Bibliotecas de la Universidad de Costa Rica

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Número de Clasificación: 621.381.5
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