Reactive Sputter Deposition
| Autor Corporativo: | |
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| Otros Autores: | , |
| Formato: | eBook |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg : Imprint: Springer,
2008.
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| Edición: | 1st ed. 2008. |
| Colección: | Springer Series in Materials Science,
109 |
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://doi.org/10.1007/978-3-540-76664-3 |