Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication /
| Autor principal: | |
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| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | English |
| Publicado: |
Bellingham, Wash. :
Spie Optical Engineering,
c1997-.
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| Colección: | IEE materials and devices series ;
12) |
| Materias: |
| Descripción Física: | 2 volúmenes : ilustraciones |
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