Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology
Autor principal: | |
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Autor Corporativo: | |
Formato: | eBook |
Lenguaje: | English |
Publicado: |
Berlin, Heidelberg :
Springer Berlin Heidelberg : Imprint: Springer,
2009.
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Edición: | 1st ed. 2009. |
Materias: | |
Acceso en línea: | https://doi.org/10.1007/978-3-540-85849-2 |
Descripción Física: | XXIV, 732 p. 422 illus. online resource. |
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ISBN: | 9783540858492 |